沒有滿足試驗條件的電源裝置，開發陷入了止步不前的狀态，如果一直這樣下去的話…

D公司所遇到的難題是“SEMI标準”中關于EMC（電磁兼容性）的标準“SEMI F47”。這是在半導制造裝置中所要求的電源波動試驗（電壓暫降抗擾度）。

D公司研究開發部的F先生這樣回顧當時的情況。
“本公司所擅長的大型半導體工藝裝置容易受到電壓下降的影響，這是難點所在。因此，在最嚴重的情況下，甚至有可能導緻生産線停止和晶圓損傷等問題。為了證明可以規避這些風險，對本公司來說，取得SEMI F47标準認證是必由之路。”

但是，D公司持有的試驗用交流／直流穩定電源存在幾個問題。過去的電源電壓和頻率不能任意調整，在精度方面也存在疑問，而且沒有可以實施100kVA以上大容量試驗的交流電源。
“為了使用現有設備建立試驗條件，我們想了很多辦法，包括将電源進行并聯和串聯等等，但是，從設備規格上來看是很難實現的。另外，除電源波動試驗之外，在電波暗室中實施的噪聲評估試驗等的其他試驗也需要可以靈活使用的電源。”（Y先生）

在找不到滿足試驗條件的電源的情況下，研究開發部完全處于束手無策的狀态，新半導體制造裝置的開發止動不前。